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产品分类
产品简介
关键性能与优势
耐高温(真空 / 惰性气氛下可达 2000℃+)、热膨胀系数极小、导热均匀,避免晶圆 / 工件受热翘曲;
化学惰性强,不与大多数工艺气体(NH3、SiH4 等)反应;
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耐高温(真空 / 惰性气氛下可达 2000℃+)、热膨胀系数极小、导热均匀,避免晶圆 / 工件受热翘曲;
化学惰性强,不与大多数工艺气体(NH3、SiH4 等)反应;