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产品简介
在普通石墨盘的边缘增加一圈凸起的裙边(Skirt),用于防漏、挡料、定位密封,或在真空腔 / 反应室中减少气流扰动;常为高纯等静压石墨(HIP)制成,可选 SiC / 热解石墨涂层;尺寸可覆盖 4 寸(101.6mm 直径),盘面可做多工位凹槽(24/31/49 等)。
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