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产品简介
TaC 涂层喷管是以高纯等静压石墨为基体、表面沉积致密 CVD TaC 涂层的高温 / 强腐蚀工况专用导流部件,核心价值是在2200–2500℃、Si 蒸气、F/Cl 基等离子体、强气流冲刷下实现零污染、长寿命、均匀导流,是 SiC PVT 长晶、ICP 刻蚀、MOCVD、航天推进等领域的关键耗材。
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