TaC涂层

推荐半导体设备中，不常提到的陶瓷材料，但性能一流！

中国粉体网讯 精密陶瓷零部件是光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、CMP等多个半导体制造关键流程核心设备关键部件。其中，氧化铝、氮化铝、碳化硅等三中陶瓷材料备受关注。半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，而半[更多]