中国粉体网讯 半导体机械手是半导体设备的重要零部件之一，通常由控制器、驱动器、手臂及末端执行器等部分组成，具有高洁净度、高平稳性、高精度、高效率和高可靠性的特点。其主要应用于半导体制造的前段工序，用于搬送、运输以及定位半导体[更多]
用微信扫码二维码分享至好友和朋友圈
