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产品简介
超高真空双倾角室蒸发设备
技术参数 :
1、UHV超高真空腔体:2腔室,负荷锁和蒸发,负荷锁极限真空 极限压力<1E-8 Torr,可加热RT-900ºC
2、蒸发腔:极限真空 极限压力<3e-9 Torr
3、高分辨率镀膜速率显示及控制 :±0.015,Å100mm镀膜均一性<3%
4、基板操控能力:可实现180度倾斜及360度旋转,0.1度的精准控制,加热RT-600ºC
5、传输 :全自动样品传输
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