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公斤级粉末ALD
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参考报价:
面议
品牌:
韫茂科技
关注度:
1626
样本:
暂无
型号:
KG
产地:
福建
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暂无
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产品简介

公斤级粉末原子层沉积镀膜系统

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详情介绍:

公斤级粉末ALD镀膜系统,1至20KG粉体装载能力,专为小批量生产而生,广泛应用于各领域小批量ALD包覆生产。

技术参数:

1样品**装载量 :1-20KG(可根据需求定制)

2样品反应温度:RT-300ºC

3前驱体:**可包括2组反应气体8组液态或固态反应前驱体,

4包覆均一性:<5%

5成膜速率 :1-2Å/Cycle (Al2O3)

6臭氧发生器:可选配,生产效率15g/h

7人机界面:全自动化人机操作界面

8安全:工业标准安全互锁,报警装置


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