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产品分类
产品简介
产品描述:
本系统为手套箱和真空镀膜机集成在一起的设备,适合哪些对水氧敏感的材料研究,在钙钛矿电池,燃料敏化电池,超导,核工业等领域有广泛应用。
产品优势:
1.手套箱可集成磁控溅射镀膜机;
2.手套箱可集成电子束蒸发镀膜机;
3.手套箱可集成热阻蒸发镀膜机;
4.手套箱可集成ALD镀膜机;
5.结构优化,操作方便;
6.真空度可达到5*10-6Pa;
7.样品台加热水冷可选;
8.其他结构可定制。
技术参数
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