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产品分类
产品简介
应用领域
适用于白玻璃、蓝玻璃、玻璃晶圆、钢化玻璃等材料隐切加工。兼顾高效率高强度高可靠性。产品通用4~10寸晶圆生产。
设备特点
① 采用高端绿光皮秒激光器，独特的光学整形技术，形成无损隐形切割效果；
②采用高稳定激光器、独特的光学系统及高稳定平台，工艺效果稳定；
③配备自动跟随系统，切割深度随片厚实时调整，可兼容±10μm片厚误差；
④配备光学自动对焦或激光自动对焦系统;
⑤可配CCD携带红外成像系统，具备正、背切功能；
设备参数
项 目 | 参数 |
绿光皮秒隐切激光器 | 品牌：国神 型号：GS-PNG05-S1 |
波长 | 532nm |
BRUST | 1-10个脉冲/点 |
脉冲宽度 | ≤15ps |
偏振方向 | 水平偏振 |
平均功率 | ≥5W |
功率稳定性 | ≤2% |
脉冲稳定性 | ≤2% |
出光口光斑大小 | 2mm±0.3mm |
光斑圆度 | >90% |
光束质量M2 | <1.2 |
发散角 | ＜0.8 |
切割模组 | 直线电机 |
切割头焦深 | 1.5um±0.5um |
切割头入射光斑大小 | 5-8mm |
切割头工作距离 | 8-10mm |
切割头理论聚焦光斑大小 | 1um |
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