主要功能

• 全自动200/300mm晶圆级光学加工（WLO）生产线；

• APC主动模具基底平行控制技术，确保大面积晶圆压印TTV均匀性；

• Cassette to cassette自动上下片，光学巡边预对位；

• 设备内自动复制柔性复合工作模具，支持自动更换工作模具，适合连续生产；

• 内置高精度自动点胶功能；

• 自动对位、自动压印、自动曝光固化、自动脱模，工艺过程在密闭洁净环境中自动进行，以保证压印质量；

• 标配高功率紫外LED面光源（365nm，光强>1000mW/cm2），水冷冷却，特殊功率以及特殊、混合波长光源可订制，**支持各种商用纳米压印材料；

• 随机提供全套纳米压印工艺与材料，包括标准示范WLO等工艺流程，帮助客户零门槛达到国际**的纳米压印水平。