设备名称：钙钛矿太阳能电池蒸发设备（镀膜机+手套箱复合型）
设备型号：ZHDS400
镀膜方式：金属 + 有机/无机蒸发
真空腔室结构：SUS304 方箱式，配有前、后门
真空腔室尺寸：L400mmxW440mmxH450mm
加热温度：室温-300℃（选配）
基片台尺寸：抽屉式：120mmx120mm可旋转、升降、水冷
膜厚不均匀性：≤±5.0%（120mmx120mm范围内）
蒸发源：金属 2 组 + 有机 4 组或更多，有机配温控式加热电源，金属电源 （国产或进口）
晶振膜厚监控仪：国产或进口（可选）
控制方式：PLC/PC 控制 ( 可选 )
占地面积：L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 )
总功率：≥ 10kW 三相五线制

1. 技术先进、设计优化，性价比高，性能稳定，使用维护成本低。

2. 适用于蒸发/磁控溅射与手套箱环境有机融合，实现制备、封装、测试等工艺无缝对接，广泛用于钙钛矿太阳能电池 /OPV 有机太阳能电池及 OLED薄膜等研究系统等。

3. 钙钛矿蒸镀适用范围：有机材料，常见如C60、BCP制备电子传输层。无机材料，如LiF、MgF 制备钙钛矿层修饰层，金属材料，如Cu,制备背电极。