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泰科诺半导体行业专用仪器
泰科诺多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650
国产半导体行业专用仪器
设备名称：多功能磁控离子溅射复合镀膜设备
设备型号：TSU650
真空腔室结构：立式圆柱形前开门，双层水冷，多通用法兰接口
真空腔室尺寸：Φ650mm×H650mm
工件架尺寸：Φ490mm，4-6 工位公 / 自转工件架
工件架烘烤温度：室温～ 500±5℃，可调可控（PID 控温）
工件架运动方式：公转 0-5RPM 可调
辅助离子源：偏压、线性离子源辅助（可选）
阴极：矩形磁控靶、柱状靶、平面弧源、磁过滤弧源（可选） 国产或进口靶、或电源可选
控制方式：PLC 控制 / 工控机全自动控制可选
占地面积：主机 L2800mm×W1200mm×H1950mm
总功率：≥ 60kW
选购件：基片台加热系统、循环水机、膜厚控制系统等
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企业名称
北京泰科诺科技有限公司企业类型
信用代码
9111011475217349XB法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
400-810-0069转4101
多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650由北京泰科诺科技有限公司提供，产地为北京，属于国产半导体行业专用仪器，符合多项国家和国际标准，广泛应用于石油/化工、建材/涂料/油漆、综合其他等领域，多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650凭借其创新性与实用性，在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。
据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分）。
根据泰科诺官方产品资料显示：多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650的品牌为北京泰科诺。
| 产品名称 | 品牌 | 型号 | 产地类型 | 价格 |
|---|---|---|---|---|
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