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韫茂科技实验设备
韫茂科技QBT-J
国产实验设备
全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统 QBT-J
约瑟夫森结超高压系统
技术参数
| QBT-J 技术参数 Technical Specifications (双倾角约瑟夫森结制备） | |
| 超高真空腔体 UHV Chamber | 4个UHV Chamber,包括Loadlock/Aneal, Ion Milling, Ebeam-Evaporation, Oxidation, 极限真空Ultimate Pressure<1E-9Torr |
| 基板加热 Wafer Heating | RT-900℃ |
| 离子束清洗 Ion Milling | 考夫曼离子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV, Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蚀均一性<3% |
| 电子束蒸发 Ebeam Evaporation | UHV 5 Linear Pocket Ebeam Evaporation Source, 8KW Power Supply |
| 氧化 Oxidation | Flow and Static Mode Oxidation |
| 基板操控能力 Wafer Tilt and Rotation | 可实现180度倾斜及360度旋转，0.1度的精准控制 |
| 基板传输 Wafer Transfer | 高度可靠和可重复的基板传输能力 |
| 人机界面 HMI | 全自动化人机操作界面 |
| 安全Safety | 工业标准安全互锁Industry Safety Interlock，报警Alarm，EMO |
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企业名称
北京韫茂科技有限公司企业类型
信用代码
91350200MA31JEYQ4Y法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
400-810-0069转1395
双倾角约瑟夫森结制备系统由北京韫茂科技有限公司提供，产地为福建，属于国产实验设备，符合多项国家和国际标准，广泛应用于电子/通讯、综合其他等领域，双倾角约瑟夫森结制备系统凭借其创新性与实用性，在实验设备用户中获得广泛关注。
据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分）。
根据韫茂科技官方产品资料显示：双倾角约瑟夫森结制备系统的型号是QBT-J，品牌为韫茂科技。
| 产品名称 | 品牌 | 型号 | 产地类型 | 价格 |
|---|---|---|---|---|
| 超高真空多腔体磁控溅射系统 | 韫茂科技 | QBT-MP | 国产 | 电议 |
| 公斤级粉末ALD | 韫茂科技 | KG | 国产 | 电议 |
| 桌面型原子层沉积系统 | 韫茂科技 | MINI | 国产 | 电议 |
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