赢创和巴斯夫近日宣布,双方将合作发展二氧化铈研磨液来制造计算机芯片。双方预期合作研发出的研磨液将在2009年商品化。 据介绍,研磨液内含有纳米材料如铈元素,可用在CMP (化学机械研磨) 制程中抛光二氧化硅[更多]
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