陶瓷加热器

推荐2026半导体陶瓷加热器实力企业榜单

中国粉体网讯 陶瓷加热器应用于半导体薄膜沉积设备（CVD、PECVD、ALD）、激光退火设备的工艺腔室内，与晶圆直接接触，承载并使晶圆获得稳定、均匀的工艺温度及成膜条件。目前，全球高端陶瓷加热器市场主要由少数几家国际企业主导[更多]