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森泽其它辅助设备
森泽平面度≤3μm
其它辅助设备
吸着方式
库仑力或约翰逊-拉贝克力
桌面平面度可控制在3μm以下
由于采用陶瓷台面，因此能够保持出色的平面度。
也可在真空环境下使用
由于采用了陶瓷材料以及适用于真空环境的部件，因此可在一定的真空环境下使用。
（需确认使用条件）
出色的绝缘电阻
由于陶瓷的体积电阻率大于10¹²/Ω·㎝，因此具有出色的耐用性。
| 形状 | 丸型静电夹具 | 四角型静电夹具 |
|---|---|---|
| **形状尺寸 | Φ950×H15mm | W1600×W950×H15mm |
| 总重量 | 约39kg | 约83kg |
| 高压电源 | 输入：AC100V 输出：DC±3KV | |
| 吸着力（参考值） | 克隆力：0.3N/㎠（无碱玻璃，DC±2KV条件下） 约翰逊-拉贝克力：5N/㎠（SUS材料，DC±0.5KV条件下） ※该数值会因工件类型、温度、湿度等使用环境而发生变化。 | |
半导体硅片、SiC/GaN 宽禁带晶圆蚀刻、镀膜、光刻工序；LCD、OLED 面板玻璃基板加工；真空等离子处理设备；晶圆检测、量测设备；精密半导体薄膜沉积装置。
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企业名称
深圳森泽工业品有限公司企业类型
信用代码
91440300MAKDH8EP3N法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
日本SODICK‑FT 陶瓷静电吸盘 平面度≤3μm 晶圆静电卡盘由深圳森泽工业品有限公司提供，产地为日本，属于进口其它辅助设备，符合多项国家和国际标准，广泛应用于食品/饮料、石油/化工、矿业/冶金、轻工业、能源等领域，日本SODICK‑FT 陶瓷静电吸盘 平面度≤3μm 晶圆静电卡盘凭借其创新性与实用性，在其它辅助设备用户中获得广泛关注。
据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分）。
根据森泽官方产品资料显示：日本SODICK‑FT 陶瓷静电吸盘 平面度≤3μm 晶圆静电卡盘的规格外形（长*宽*高）为660×350×430mm，功率（kw）为1.4kW，重量（kg）为0.7，日本SODICK‑FT 陶瓷静电吸盘 平面度≤3μm 晶圆静电卡盘的价格为300元，具体型号是平面度≤3μm，品牌为日本 SODICK‑FT。
| 产品名称 | 品牌 | 型号 | 产地类型 | 价格 |
|---|---|---|---|---|
| 日本 NIKUNI 层叠混合元件 静态混合器 MSE 型 | MSE 型 | 进口 | 300元 | |
| 美国 Airbrasive Model H 大产能微粒干式精密喷砂机 | Model H | 进口 | 300元 | |
| 日本 JEOL TP-99260FDR 粉体供给装置 | TP-99260FDR | 进口 | 300元 |
