碳、金属·钢铁、热电材料·珀尔帖元件、陶瓷材料、磁性材料、催化剂、热电评估、纳米粒子蒸镀、热电测定、薄膜涂层·纳米粒子涂层

一种利用脉冲真空电弧放电技术来制备纳米粒子的新型装置。

脉冲真空电弧蒸发是一种能够以简单流程生成金属离子，并进而制造出极薄薄膜或纳米粒子的独特方法。
通过这种方法，可以获得其他蒸发技术无法实现的优点，比如膜的平整度以及微粒的精准控制等。

用途

• APD-S（基板蒸镀模型）
  金属薄膜（磁性、等离子体、保护膜）、纳米粒子

• APD-P（粉体担载模型）
  基于纳米粒子的燃料电池催化剂、废气催化剂、光催化剂、VOC分解催化剂、碳纳米管催化剂、等离子体催化剂

铁与碳的多层膜
可以看出，刻度尺的尺度为5纳米，而铁元素（黑色部分）则是以大约1.5纳米的厚度逐层堆积而成的。此时的沉积速率是每20次脉冲可沉积1.5纳米，因此相当于每脉冲约0.075纳米。

5个特点

• 通过改变电容器的容量，可以自由地将纳米颗粒的粒径控制在1.5纳米至6纳米之间。

• 只要是导电性材料（靶材），任何材料都可以被等离子体化。
  ＊目标电阻率0.01Ωcm以下

• 通过改变气氛，可以轻松生成氧化物和氮化物。此外，将石墨在H2气体中放电，就能得到UNCD（超微晶钻石）。

• 该装置所负载的纳米粒子，与湿法相比展现出更强的催化活性。

• APD-P模型被负载在粉末上。APD-S模型则被负载在2英寸基板上。
  ※1、3、4的内容取决于参考文献。