6H型α相碳化硅粉

产品介绍

α相碳化硅(6H型)为六方晶系高温相碳化硅，是第三代半导体核心配套粉体材料，分为导电型和半绝缘型。本产品采用自研高温自蔓延合成法及化学气相沉积法(CVD)制备，具备纯度高、粒径可控、晶型纯正、超低含氧量、高温稳定(>2000°C)、导热/绝缘性优等核心特点，可全面适配半导体衬底、陶瓷密封件/轴承、导热基片等多场景量产需求，可提供全系列标准化产品及定制化解决方案。

核心参数

1、高纯度(6N及以上)；

2、粒径1-20um；

3、6H晶型纯度>95%；

4、氧含量＜0.5wt%（5000ppm）；

5、粒径、纯度、含氧量可以按照客户需求定制；

核心优势

高纯度

产品纯度在6N以上，金属杂质ppm级管控(<0.1ppm)，满足高端场景严苛要求

晶型纯正

独有工艺可实现6H单晶型占比达到95%以上，无杂相干扰，性能一致性强

超低含氧量

自主研发超低含氧量生产技术，含氧量低至0.2wt%，助力高性能高致密陶瓷烧结

全粒径

从亚微米至毫米级定制化生产，适配全场景应用

批次稳定

量产级批次稳定，全流程溯源管控，解决下游量产批次波动痛点

嘉兴鬃晶科技有限公司

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