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四方光电（武汉）仪器有限公司
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四方仪器半导体行业专用仪器
四方仪器Gasboard-3053
国产半导体行业专用仪器
产品名称：氧分析仪
产品型号：Gasboard-3053
产品概述
氧分析仪Gasboard-3053搭载高稳定性的氧化锆核心传感器，覆盖25%富氧至1ppm微量氧的全范围测量。具有测量精度高、响应时间快、稳定性好等特点，可应用于半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等领域，为关键的过程控制应用程序提供可靠的性能。产品采用紧凑型模块化设计，体积小巧，便于在复杂⼯况下安装，同时配备直观丰富的用户界面，提供人机交互体验。
产品特性
测量精度⾼，ppm级别测量
响应速度快，秒级出数
即插即⽤⼀体化设计
内置采样泵与过滤系统，安装维护便捷
本地化端到端服务保障
应用领域
半导体、LED等⽣产过程中氧浓度控制、惰性保护⽓体⽣产及焊接⼯艺中氧浓度监测、空⽓分离加⼯⼯艺中氧浓度测定、真空⼿套箱系统中氧含量的监控
技术参数
| 微量-常量氧分析仪 | ||
| 功能性能需求 | 检测气体 | O2 |
| 量程范围 | 0~10~100~1000ppm，0~25%，自动切换 | |
| 检出限 | 0.5ppm | |
| 分辨率 | 0.1ppm | |
| 准确度/示值误差/精度 （ppm=氧分压/当前⼯作总压） | ≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm 以较大值为准 | |
| 响应时间 | T90≤10s | |
| 预热时间 | ≤20min | |
| 零点漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 量程漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 重复性 | ±0.5%F.S. | |
| 电气结构 | 通讯协议 | RS-232，RS-485 |
| 气路接口 | 进气/出气 1/4''VCR-F | |
| 结构形式 | 一体式 | |
| 结构尺寸（L*W*D） | 210*134*300mm | |
| 环境要求 | 传感器（RSM）工作温湿度 | 温度：0~50℃；湿度：0~95%RH，非冷凝 |
| 采样流量 | 0.5~1L/min传感器内设控流组件 | |
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企业名称
四方光电（武汉）仪器有限公司企业类型
有限责任公司（自然人投资或控股的法人独资）信用代码
914201005519974097法人代表
熊友辉注册地址
武汉东湖新技术开发区关东街道凤凰园一路5号科梦除氨产业基地1栋1-5层成立日期
2010-04-19复制注册资本
3000万元人民币有效期限
2010-04-19 至 2030-04-19经营范围
一般项目 : 技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;信息系统集成服务;碳减排、碳转化、碳捕捉、碳封存技术研发;石油天然气技术服务;物联网技术研发;机械设备研发;仪器仪表制造;仪器仪表销售;大气污染监测及检测仪器仪表制造;大气污染监测及检测仪器仪表销售;环境监测专用仪器仪表制造;环境监测专用仪器仪表销售;环境保护监测;电子产品销售;电子元器件批发;非居住房地产租赁;货物进出口;技术进出口;进出口代理。（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）
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四方仪器 氧分析仪 半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等由四方光电（武汉）仪器有限公司提供，产地为湖北武汉，属于国产半导体行业专用仪器，符合多项国家和国际标准，广泛应用于综合其他等领域，四方仪器 氧分析仪 半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等凭借其创新性与实用性，在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。
据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分）。
根据四方仪器官方产品资料显示：四方仪器 氧分析仪 半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等的价格为5-10万元，具体型号是Gasboard-3053，品牌为四方仪器。
| 产品名称 | 品牌 | 型号 | 产地类型 | 价格 |
|---|---|---|---|---|
| 红外气体传感器 Gasboard-2060 | 四方仪器 | Gasboard-2060 | 国产 | 10-20万元 |
| 四方仪器 红外气体传感器 Gasboard-2061 | 四方仪器 | Gasboard-2061 | 国产 | 电议 |
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