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四方光电（武汉）仪器有限公司
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四方仪器半导体行业专用仪器
四方仪器Gasboard-2060
国产半导体行业专用仪器
产品名称：红外气体传感器
产品型号：Gasboard-2060
红外气体传感器产品概述
红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。
红外气体传感器产品特性
使用NDIR技术，多气体监测支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)
响应时间快，高灵敏度
无耗材
模拟/数字通信
模块化设计，便于集成
红外气体传感器技术参数
| 检测原理 | NDIR |
| 检测气体 | SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重复性 | ±0.5% |
| 线性 | ±1%F.S. |
| 检测限 | 1ppm |
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企业名称
四方光电（武汉）仪器有限公司企业类型
有限责任公司（自然人投资或控股的法人独资）信用代码
914201005519974097法人代表
熊友辉注册地址
武汉东湖新技术开发区关东街道凤凰园一路5号科梦除氨产业基地1栋1-5层成立日期
2010-04-19复制注册资本
3000万元人民币有效期限
2010-04-19 至 2030-04-19经营范围
一般项目 : 技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;信息系统集成服务;碳减排、碳转化、碳捕捉、碳封存技术研发;石油天然气技术服务;物联网技术研发;机械设备研发;仪器仪表制造;仪器仪表销售;大气污染监测及检测仪器仪表制造;大气污染监测及检测仪器仪表销售;环境监测专用仪器仪表制造;环境监测专用仪器仪表销售;环境保护监测;电子产品销售;电子元器件批发;非居住房地产租赁;货物进出口;技术进出口;进出口代理。（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）
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红外气体传感器 Gasboard-2060由四方光电（武汉）仪器有限公司提供，产地为湖北武汉，属于国产半导体行业专用仪器，符合多项国家和国际标准，广泛应用于石油/化工、能源等领域，红外气体传感器 Gasboard-2060凭借其创新性与实用性，在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。
据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分），入选半导体行业专用仪器近30天热度榜。
根据四方仪器官方产品资料显示：红外气体传感器 Gasboard-2060的价格为10-20万元，具体型号是Gasboard-2060，品牌为四方仪器。
| 产品名称 | 品牌 | 型号 | 产地类型 | 价格 |
|---|---|---|---|---|
| 四方仪器 红外气体传感器 Gasboard-2061 | 四方仪器 | Gasboard-2061 | 国产 | 电议 |
| 四方仪器 氧分析仪 半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等 | 四方仪器 | Gasboard-3053 | 国产 | 5-10万元 |
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