中国粉体网讯 多孔陶瓷是通过特殊工艺制备，内部形成三维连通或封闭孔隙结构的陶瓷制品，孔隙率通常在20%~90%之间，孔径从纳米级到毫米级不等。凭借其独特的孔隙结构、耐高温、耐腐蚀、绝缘性好等特性，多孔陶瓷成为半导体制造中不可[更多]
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