中国粉体网讯 高纯SiC粉料作为生长半绝缘SiC单晶的原料,直接影响后续晶体生长的质量及电学性能。生长高质量的高纯半绝缘晶体,必须控制衬底中的氮含量,从根本上来讲,必须控制碳化硅粉料中的氮含量。传统碳化硅粉料合成主要采用固相[更多]
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