半导体用陶瓷

推荐碳化硅晶舟：半导体设备中“晶圆隐形守护者”

中国粉体网讯 在半导体制程中，氧化是将晶圆置于高温环境下，通过氧气在晶圆表面的流动形成氧化层，以保护晶圆不受化学杂质影响，避免漏电流进入电路，预防离子植入过程中的扩散以及防止晶圆刻蚀时滑脱，在晶圆表面形成保护膜。该步骤使用设[更多]