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推荐碳化硅陶瓷：半导体设备中不可或缺的“灵魂部件”

中国粉体网讯 碳化硅凭借其优异的高温力学强度、高硬度、高弹性模量、高耐磨性、高导热性、耐腐蚀性等性能，成为用途最广的陶瓷材料之一。尤其是在半导体装备领域，装备制造是半导体产业的核心组成部分，在某种意义上装备的先进程度可以代表[更多]