中国粉体网讯碳化硅具有宽带隙、高临界击穿场强、高热导率、高载流子饱和迁移率等优点,特别适合于制造高频、大功率、抗辐射的电子器件,是半导体材料领域中较有前景的材料之一。目前工业制备SiC单晶的主流方法是物理气相传输法(PVT)[更多]
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