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CMP抛光液的D50合格了怎么还是会划伤晶圆
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珠海椿田科技股份有限公司
2026-09-15
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CMP抛光液的D50合格了怎么还是会划伤晶圆
简介: CMP抛光液的D50合格了,真的就代表分散效果达标了吗?很多研发人员容易忽略尾端大颗粒的问题。D50只能反映颗粒粒径分布的中位水平,D90、D99等指标同样关键。本期视频带你了解如何全面判断CMP抛光液的分散效果,避免“D50合格,实际性能却不达标”的情况。
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