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粉体网:请问栗教授,相比传统的硅衬底,碳化硅衬底的加工难点有哪些?栗教授:碳化硅晶圆衬底的莫
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2025-01-21
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粉体网:请问栗教授,相比传统的硅衬底,碳化硅衬底的加工难点有哪些?栗教授:碳化硅晶圆衬底的莫
简介: 栗教授:碳化硅晶圆衬底的莫氏硬度在9以上,属于硬脆的难加工材料,加工精度要求很高,包括形状、尺寸和表面精度都属于超精密范围,例如TTV达到微米级,Ra要达到0.2nm以下。因此,碳化硅衬底对加工技术要求非常高,包括切割、磨削和抛光,从工具到工艺和装备都具有很大的难度。 著作权归作者所有。 商业转载请联系作者获得授权,非商业转载请注明出处。 链接:https://news.cnpowder.com.cn/78081.html 来源:中国粉体网
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