中国粉体网讯  半导体产业是关乎国家经济、政治和国防安全的战略产业，在半导体产业中，制造装备具有极其重要的战略地位。以光刻机为代表的半导体关键装备是现代技术高度集成的产物，其设计和制造过程均能体现出包括材料、机械加工等在内的诸多相关科学领域的最高水平。例如，对于材料而言，半导体制造关键装备要求零部件材料具有轻质高强、高导热系数和低热膨胀系数等特点，且致密均匀无缺陷。 图片来源：pexels其中，精密陶瓷就是最具代表性半导体精密部件材料。何为半导体精密部件？半导体零部件是指在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等性能方面达到了半导体设备及技术要求的零部件，如 O 型密封圈、传送模块、射频电源、静电吸盘、硅/..【详细】