THz扫描法布里-珀罗干涉仪(Terahertz scanning Farby-Perot interferometer (TSFPI) )是专门设计用来测试THz波长以及窄带THz辐射强度的仪器。TSFPI有两块半透明平行的Si反射镜组成，其中一个Si镜装在线性电机上，可以通过控制Si镜之间的距离测量相应的THz数据。

TSFPI 可以用于以下光源:

- 回旋振荡管;

- 光泵浦亚毫米波激光器;

- 返波管 BWO;

- 自由电子激光器;

- 差频THz产生器;

- 光混频THz产生器;

- 量子级联激光器;

- p-Ge 激光器;

- novel THz sources.