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欧波同扫描电镜
欧波同Helios 5 DualBeam FIB
国产扫描电镜
新一代的赛默飞世尔科技 Helios 5 DualBeam 具有 Helios 5 产品系列业界**的高性能成像和分析性能。它经过精心设计,可满足材料科学研究人员和工程师对*广泛的 FIB-SEM 使用需求,即使是**挑战性的样品。
Helios 5 DualBeam 重新定义了高分辨率成像的标准:**的材料对比度,*快、*简单、*精确的高质量样品制备,用于 S/TEM 成像和原子探针断层扫描(APT)以及**质量的亚表面和 3D 表征。在 Helios DualBeam 系列久经考验的性能基础上,新一代的 Helios 5 DualBeam 进行了改进优化,所有这些都旨在确保系统处于手动或自动工作流程的**运行状态。
半导体行业技术参数:
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| Helios 5 CX | Helios 5 HP | Helios 5 UX | Helios 5 HX | Helios 5 FX | ||
| 样品制备与 XHR 扫描电镜成像 | *终样品制备 (TEM薄片,APT) | STEM 亚纳米成像与样品制备 | ||||
| SEM | 着陆电压 | 20 eV~30 keV | 20 eV~30 keV | |||
分辨率 | 0.6 nm@15 keV | 0.6 nm@2 keV | ||||
| 1.0 nm@1 keV | 0.7 nm@1 keV | |||||
| 1.0 nm@500 eV | ||||||
| STEM | 分辨率@30 keV | 0.7 nm | 0.6 nm | 0.3 nm | ||
| FIB制备过程 | **材料去除束流 | 65 nA | 100 nA | 65 nA | ||
| *终**抛光电压 | 2 kV | 500 V | ||||
| TEM样品制备 | 样品厚度 | 50 nm | 15 nm | 7 nm | ||
| 自动化 | 否 | 是 | 是 | |||
| 样品处理 | 行程 | 110×110 ×65 mm | 110×110 ×65 mm | 150×150 ×10 mm | 100×100 ×20 mm | 100×100×20mm+5轴(S)TEM Compustage |
| 快速进样器 | 手动 | 自动 | 手动 | 自动 | 自动+自动插入/提取STEM 样品杆 | |
材料科学行业技术参数:
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| Helios 5 CX | Helios 5 UX | ||
| 离子光学 | 具有**的大束流性能的Tomahawk HT 离子镜筒 | 具有**的大束流和低电压性能的Phoenix 离子镜筒 | |
| 离子束电流范围 | 1 pA – 100 nA | 1 pA – 65 nA | |
| 加速电圧 | 500 V – 30 kV | 500 V – 30 kV | |
| **水平视场宽度 | 在束重合点处为0.9 mm | 在束重合处点为0.7 mm | |
| 离子源寿命 | 1,000 小时 | 1,000 小时 | |
| 两级差分抽吸 | 两级差分抽吸 | ||
| 飞行时间校准 | 飞行时间校准 | ||
| 15孔光阑 | 15孔光阑 | ||
| 电子光学 | Elstar超高分辨率场发射镜筒 | Elstar超高分辨率场发射镜筒 | |
| 磁浸没物镜 | 磁浸没物镜 | ||
| 高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流 | 高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流 | ||
| 电子束分辨率 | **工作距离下 | 0.6 nm @ 30 kV STEM | 0.6 nm @ 30 kV STEM |
| 0.6 nm @ 15 kV | 0.7 nm @ 1 kV | ||
| 1.0 nm @ 1 kV | 1.0 nm @ 500 V (ICD) | ||
| 0.9 nm @ 1 kV 减速模式* | |||
| 在束流重合点 | 0.6 nm @ 15 kV | 0.6 nm @ 15 kV | |
| 1.5 nm @ 1 kV 减速模式* 及 DBS* | 1.2 nm @ 1 kV | ||
| 电子束参数 | 电子束流范围 | 0.8 pA ~ 176 nA | 0.8 pA ~ 100 nA |
| 加速电压范围 | 200 V ~ 30 kV | 350 V ~ 30 kV | |
| 着陆电压 | 20 eV ~ 30 keV | 20 eV ~ 30 keV | |
| **水平视场宽度 | 2.3 mm @ 4 mm WD | 2.3 mm @ 4 mm WD | |
| 探测器 | Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测器 (TLD-SE, TLD-BSE) | ||
| Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测器 (ICD)* | |||
| Elstar 镜筒内 BSE 探测器 (MD)* | |||
| 样品室内 Everhart-Thornley SE 探测器 (ETD) | |||
| 红外相机 | |||
| 高性能离子转换和电子探测器 (SE)* | |||
| 样品室内 Nav-Cam 导航相机* | |||
| 可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射探测器 (DBS)* | |||
| 可伸缩STEM 3+ 探测器* | |||
| 电子束流测量 | |||
| 样品台和样品 | 样品台 | 高度灵活的五轴电动样品台 | 压电陶瓷驱动 XYR 轴的高精度五轴电动工作台 |
| XY | 110 mm | 150 mm | |
| Z | 65 mm | 10 mm | |
| R | 360° (连续) | 360° (连续) | |
| 倾斜 | -15° ~ +90° | -10° ~ +60° | |
| **样品高度 | 与优中心点间隔 85 mm | 与优中心点间隔 55 mm | |
| **样品质量 | 样品台任意位置 500 g | 样品台任意位置 500 g | |
| 0° 倾斜时** 5 kg | |||
| **样品尺寸 | 直径 110 mm可沿样品台旋转时 | 直径 150 mm可沿样品台旋转时 | |
| 优中心旋转和倾斜 | 优中心旋转和倾斜 | ||
更易于使用:
Helios 5 对所有经验水平用户而言都是*容易使用的 DualBeam 系统。操作人员培训可以从几个月缩短到几天,其系统设计可帮助所有操作人员在各种高级应用程序上实现一致、可重复的结果。
提高了生产率:
Helios 5 和 AutoTEM 5 软件的先进自动化功能,增强的可靠性和稳定性允许无人值守甚至夜间操作,显著提高样品制备通量。
改善时间和结果:
Helios
5 DualBeam 引入全新精细图像调节功能 FLASH (闪调)技术。借助 FLASH
技术,您只需在用户界面中进行简单的鼠标操作,系统即可“实时”进行消像散、透镜居中和图像聚焦。自动调整可以显著提高通量、数据质量并简化高质量图像的采集。平均而言,FLASH
技术可以使获得优化图像所需的时间*多缩短 10 倍。
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赛默飞(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB双束电镜是国产还是进口的?
有赛默飞(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB双束电镜的详细技术参数吗?
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企业名称
北京欧波同光学技术有限公司企业类型
信用代码
9111 0101 695 015 46XA法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
400-810-0069转2653
赛默飞(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB双束电镜由北京欧波同光学技术有限公司提供,产地为捷克,属于进口扫描电镜,符合多项国家和国际标准,广泛应用于医药/生物、电池/电源、航空航天等领域,赛默飞(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB双束电镜凭借其创新性与实用性,在扫描电镜用户中获得广泛关注。
据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分),入选扫描电镜近30天热度榜。
根据欧波同官方产品资料显示:赛默飞(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB双束电镜的探测器为见参数,加速电压为500 V – 30 kV,电子枪为见参数,电子光学放大为见参数,光学放大为见参数,分辨率为0.6 nm@15 keV、1.0 nm@1 keV,赛默飞(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB双束电镜的型号是Helios 5 DualBeam FIB,品牌为赛默飞世尔科技。
| 产品名称 | 品牌 | 型号 | 产地类型 | 价格 |
|---|---|---|---|---|
| Axia ChemiSEM 智能型钨灯丝扫描电镜 | 赛默飞 | Axia ChemiSEM | 进口 | 电议 |
| 赛默飞(原FEI)透射电镜 Talos F200X S/TEM | 赛默飞 | Talos F200X S/TEM | 进口 | 电议 |
| 赛默飞(原FEI)Prisma E SEM-环境扫描钨灯丝电镜 | 赛默飞 | Prisma E SEM | 进口 | 电议 |
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