全自动四探针测试仪（含 FT-3110A/FT-3110B）采用四点探针法与 ASTM 标准，支持全自动测量、PC 软件数据采集与分析，可检测电阻率、方块电阻、厚度等参数，兼具 2D/3D 扫描图谱显示与温湿度监测功能。

功能介绍Function Introduction

四点探针法、全自动化运行测量系统

PC软件采集和数据处理、ASTM方法

自动正/负电流输出，自动正/负电压测量

测量电阻率、方块电阻、厚度

可调探针压力、测试点数、多种模式

显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值

提供标准校准电阻件、数据统计分析

适用范围Scope of application

晶圆、非晶硅/微晶硅和半导体衬底电阻率测量；选择性发射极扩散片；

表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；

半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.

采用全自动步进探针，无需手动调节，四探针法测量方块电阻与电阻率。量程覆盖超宽，适配半导体、薄膜、涂层等材料，自动量程、温度补偿、数据校准一体化。支持恒流 / 恒压模式，大屏直读 + PC 软件双控，自动生成报表与曲线，满足研发与产线稳定、高精度测试需求。