1.方块电阻范围

10^6～2×10^7Ω/□

2.电阻率范围

10^7～2×10^8Ω-cm

3.测试电流范围

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA,

100nA  ,10nA    , 1nA

4.电流精度

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA±0.1%   ; 100nA  ,10nA  , 1nA±2%

5.电阻精度

10^2Ω以下量程≤0.5%;  10^2Ω以上量程≤10%;

6.PC软件界面操作

PC软件界面显示：电阻、电阻率、方阻、电导率、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、过程图谱，报表生成.

7.测试方式

手动测量

自动测量

8.工作电源

输入: AC 220V±10%.50Hz功 耗：<100W

9.误差

小量程≤4%（标准样片结果）;大量程≤10%

10.校准方式

标准电阻和标准样片

11.测试探头

探针间距选购： 2mm；3mm两种规格; 探针材质选购：碳化钨针、镀金磷铜半球形针