一、设备组成

设备组成部分包含：1）加热系统2）Plasma系统3）炉管转动系统4）炉管倾斜系统5）触屏操作系统6）进出料组件7）进出气法兰组件8）炉管及安全保护组件 9）真空系统。10）场内小电流装置

二、结构描述

1、加热系统：

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，该系统设置有超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。温区为单温区，温区长440mm，异形石英管规格采用Φ60*Φ100*1200。

2、Plasma系统：

本系统借助于辉光放电产生等离子体，辉光放电等离子体中，电子密度高，通过反应气态放电，有效利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式。

3、炉管转动系统：

炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动，转速在0-20rpm连续可调。

4、搅拌转动系统可以实现360°匀速转动，转速在0-30rpm连续可调。

5、炉管倾斜系统可以大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0-30°之间。

6、触屏操作系统：该系统可以让设备在自动模式下高度自动化运行，所有参数程序设定好后自动运行：可实现按照设定程序连续工作，可设置多工作段不同参数，并可进行某工作段循环工作及某程序循环工作。

7、进出料组件：进料端由进料罐+送料机构组成，出料端由收集罐+手动辅助升降组件组成

8、进出气法兰组件：设备法兰左端为进气端，一侧配有截止阀控制的进气口，对接混气罐输出的气体。另一侧预留KF25接口。右端为出气端，一侧由球阀控制的出气口，另一侧为KF25抽口。

9、炉管及安全保护组件：炉管为异形石英管，通过左右两端磁流体密封法兰实现真空下的回转，设备左端法兰配有SMC安全保护组件。

10、真空系统：由一个PCG550真空计和一台DRV16机械泵组成，抽口端由KF25手动挡板阀控制。

11、场内小电流装置：设备左端为正极：由不锈钢杆和导电片组成；右端为负极，由不锈钢导电片固定在送料杆端头。正极配有外端接线棒。

本设备采用承重框架结合钣金包围形式。机架采用深灰色、门板等采用时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重，更具备操作直观方便、控温精确等性能。

三、技术参数