全自动气氛退火管式炉拥有自动送料、自动锁紧法兰密封功能，材料载具采用碳化硅—一种耐高压、耐高温、抗辐照优良半导体材料，当材料放入载具后可通过电动滑块模组送入石英管腔体内，此时法兰周边的回转气缸自动锁紧。加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，加热元件选用电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，采用智能PID控制，30段可编程程序，可曲线升温并设定温度速率，恒温时间控制，自动停机等，具有超温报警、漏电保护、过温保护等功能。此设备还配备了触摸屏，实现物料从送料-法兰密封-抽真空-升温烧结-退火集成一体智能化控制。另外，此设备右边送料区域背板装置了空气过滤器，达到一定的净化空气的作用，使材料出腔体时不受空气中粉尘杂质的影响。

额定加热功率：18*2KW

额定功率：42KW

额定电压：AC380V  50/60HZ

**温度：800℃

工作温度：≤600℃

推荐升温速率：5℃/min

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度：±1℃

送料方式：电动送料

氮气**流量：150L/min*2

氢气**流量：60L/min*2

点火装置：电阻丝

加热元件：首钢HRE电阻丝

整机尺寸：4000（L）×1050（W）×2400（H）mm

设备净重：1900KG

备选件： 真空：≤10pa，洁净度：≤100@0.3um，氧含量：≤20ppm