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贝意克管式炉
贝意克PECVD-III-500A-D210
国产管式炉
一、设备组成
这是一款智能型PECVD系统。该设备主要分为四大部分:多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统。
1、开启式加热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,6点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可电动开启方便客户更换维修反应管。
2、气路系统
可由质量流量计精确控制多路气体按不同流量进行混合配比,另外单独1路过鼓泡器后进入反应管内。
3、射频组件
1000W高性能射频辉光均匀,可使整个反应腔体都处于辉光产生区。
4、 智能控制系统
采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。
二、技术参数
**温度 | 1200℃ |
持续工作温度 | ≤1100℃ |
升温速率 | ≤10℃/min |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
热电偶 | K型 |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能,人机界面加PLC控制,15寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪和软件实现双控 |
加热总功率 | ≤15KW |
加热区尺寸 | 300+300+300mm |
射频功率 | 1000W |
设备尺寸 | 2550*850*1600mm |
设备重量 | 约600KG |
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企业名称
安徽贝意克设备技术有限公司企业类型
信用代码
91340100591423143H法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限

经营范围
400-810-0069转7574
智能型PECVD系统由安徽贝意克设备技术有限公司提供,产地为安徽合肥,属于国产管式炉,符合多项国家和国际标准,广泛应用于综合其他等领域,智能型PECVD系统凭借其创新性与实用性,在管式炉用户中获得广泛关注。
据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。
根据贝意克官方产品资料显示:智能型PECVD系统的非金属电热元件为其他,金属电热元件为铁铬铝丝,烧结气氛为其他,温控精度为±1℃,最高温度为1200℃,额定温度为≤1100℃,智能型PECVD系统的型号是PECVD-III-500A-D210,品牌为贝意克。
| 产品名称 | 品牌 | 型号 | 产地类型 | 价格 |
|---|---|---|---|---|
| 前端预热法硫化钼制备设备 | 贝意克 | BTF-1200C-400C | 国产 | 电议 |
| 六通道管式炉 | 贝意克 | BTF-1200C-6D | 国产 | 电议 |
| 真空管式炉(BTF-1400C) | 电议 |
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