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安徽贝意克设备技术有限公司
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贝意克 > 产品中心 >

智能型PECVD系统

智能型PECVD系统
  • 品牌:贝意克
  • 产地:安徽合肥
  • 关注度:2789
  • 型号:PECVD-III-500A-D210
  • 报价:面议
  • 信息完整度:

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核心参数
  • 非金属电热元件:其他
  • 金属电热元件:铁铬铝丝
  • 烧结气氛:其他
  • 温控精度:±1℃
  • 最高温度:1200℃
  • 额定温度:≤1100℃
标签:

贝意克管式炉

贝意克PECVD-III-500A-D210

国产管式炉

产品介绍

一、设备组成

这是一款智能型PECVD系统。该设备主要分为四大部分:多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统。

1、开启式加热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,6点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可电动开启方便客户更换维修反应管。

2、气路系统

   可由质量流量计精确控制多路气体按不同流量进行混合配比,另外单独1路过鼓泡器后进入反应管内。

3、射频组件

    1000W高性能射频辉光均匀,可使整个反应腔体都处于辉光产生区。

4、 智能控制系统          

    采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。

 

二、技术参数

**温度

1200℃

持续工作温度

≤1100℃

升温速率

≤10℃/min

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

热电偶

K型

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能,人机界面加PLC控制,15寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪和软件实现双控

加热总功率

≤15KW

加热区尺寸

300+300+300mm

射频功率

1000W

设备尺寸

2550*850*1600mm

设备重量

约600KG


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  • 智能型PECVD系统的工作原理介绍?
  • 智能型PECVD系统的使用方法?
  • 智能型PECVD系统多少钱一台?
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工商信息

企业名称

安徽贝意克设备技术有限公司

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

联系我们

安徽贝意克设备技术有限公司
客服电话

400-810-00697574

安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。公司历经十余年的艰苦创业已由当年的行业追随者发展成为今天的行业领跑者。 公司重视技术攻关和产品研发,建有一流的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得**200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所知名院校建立联合实验室及研究生联合培养基地 公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类
产品小贴士

智能型PECVD系统由安徽贝意克设备技术有限公司提供,产地为安徽合肥,属于国产管式炉,符合多项国家和国际标准,广泛应用于综合其他等领域,智能型PECVD系统凭借其创新性与实用性,在管式炉用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据贝意克官方产品资料显示:智能型PECVD系统的非金属电热元件为其他,金属电热元件为铁铬铝丝,烧结气氛为其他,温控精度为±1℃,最高温度为1200℃,额定温度为≤1100℃,智能型PECVD系统的型号是PECVD-III-500A-D210,品牌为贝意克。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
前端预热法硫化钼制备设备 贝意克 BTF-1200C-400C 国产 电议
六通道管式炉 贝意克 BTF-1200C-6D 国产 电议
真空管式炉(BTF-1400C) 电议
客户服务热线:400-810-0069转7574(售前/售后支持)
官方链接:https://ahbeq.cnpowder.com.cn/product_357076.html
来源:安徽贝意克设备技术有限公司

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