简介

Flex-CLUE是一款高性能的阴极发光（CL）分析仪器，采用光纤耦合技术，具备高效信号收集能力，并支持扫描成像、线扫描和点测量等功能。该设备拥有140mm至320mm的不同焦长光谱仪选项，光谱范围覆盖200nm至1000nm或400nm至1700nm，适用于半导体、矿物、地质、公安及生命科学等多个领域的材料表征需求。通过结合扫描电子显微镜，Flex-CLUE能提供高空间分辨率的光谱结果，是纳米结构和体材料的独特分析工具。

仪器简介：

电子束入射到样品上，即可用光学方法接收并分析阴发光（CL），从而提供样品详细的物理特性。它是一种无损的分析方法，结合电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果，是纳米结构和体材料的独特分析工具。Flex-CLUE是一款高性能的CL分析仪器，适用于广泛的应用领域。它基于光纤传输，是适用于有限空间的集成化系统。

原理图

主要特点：

● 光纤耦合

● 高效CL信号收集

● 扫描成像、线扫描、点测量

● 多种光栅选项

● 多种焦长光谱仪选项：140mm-320mm

● 光谱范围：200nm-1000nm或400nm-1700nm

重点应用领域：

阴发光光谱仪（CL）是用来表征材料中的缺陷，元素和杂质追踪的强大分析工具，广泛适用于各个应用领域。

1、材料科学

● 半导体和光电材料

● 介电/陶瓷   

● 氧化物膜           

● 玻璃

2、矿物、地质

● 碳酸岩       

● 晶体   

● 金刚石    

● 锆石、方解石、白云石

3、公安

4、生命科学