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HORIBA测量/计量仪器
HORIBAHORIBA PD-Xpadion
测量/计量仪器
PD-Xpadion 是 HORIBA 光掩膜颗粒检测产品线的**一代产品。基于创新的模块化平台设计，PD Xpadion可以满足光刻和掩膜生产过程中掩膜和薄膜检测的各种需求。通过 Fab 自动化与 HORIBA 的整套核心技术相结合，允许用户扩展 PD Xpadion 系统，不仅包括颗粒检测，还包括通过拉曼分析进行颗粒表征，膜膜厚度和均匀性，以及膜健康监测工具。
产品特色
高机械强健度：平均故障间隔时间高达 1500 个小时；可以保证98%以上的正常运行时间。
高灵活性：可以实现 5 寸到 9 寸的光掩膜扫描；兼容 ASML, NIKON，CANON 等一系列厂商的光罩盒；可以支持不同的光掩膜承载手段。
高性能：可以实现光掩膜三个面的扫面（玻璃面，薄膜面以及图形面）；单面的扫面时间仅需要 4 分钟；标配 0.5 um 的精度；良好的误检过滤算法。
高模块化：可以连接 OHT/EFEM 等自动化设备；可以连接颗粒去除系统（见下图）；可以增加量测手段来实现多种不同应用的表征。
核心参数
精度规格：0.5 um/0.35 um/0.1 um
吞吐量：12 min/片 （上下两面扫描）
环境光罩尺寸：5寸-9寸
正常运行时间：98%
技术指标
HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置的工作原理介绍？HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置的使用方法？HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置多少钱一台？HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置的说明书有吗？HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置的报价含票含运费吗？HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置有现货吗？HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置是国产还是进口的？有HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置的详细技术参数吗？HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置可以应用在哪些领域？0有办事机构吗？0销售电话是多少？相关产品
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企业名称
HORIBA（中国）企业类型
信用代码
-法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置由HORIBA（中国）提供，产地为上海，属于国产测量/计量仪器，符合多项国家和国际标准，广泛应用于石油/化工、矿业/冶金、综合其他等领域，HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置凭借其创新性与实用性，在测量/计量仪器用户中获得广泛关注。
据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分）。
根据HORIBA官方产品资料显示：HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置的型号是HORIBA PD-Xpadion，品牌为HORIBA。
| 产品名称 | 品牌 | 型号 | 产地类型 | 价格 |
|---|---|---|---|---|
| 在体皮肤拉曼分析仪 | HORIBA | 在体皮肤拉曼分析仪 | 国产 | 电议 |
| MiPLATO-SiC晶圆缺陷检测系统 | HORIBA | MiPLATO-SIC | 国产 | 电议 |
| Evaluator LT 系列 PEM 燃料电池测试台 | HORIBA | Evaluator LT | 进口 | 电议 |
