设备用途:

静电卡盘烧结

设备规格:

有效温区尺寸:500x800mm

加热器:钨板式压双筋加热器(上中下全方位)上下为钨网发热体隔热屏材料:W+Mo复合屏

承载重量:2300KG(不含料架500kg)

**温度:2000℃C

工作温度:1850℃C

温度均匀性:±5℃℃(1500℃测温环测试)

升温速率:0~20°C/min(可调)

控温精度:±1°℃

热电偶:4组铠装钨铼热电偶极限真空度:<10Pa，真空泵和炉体之间装有过滤装置20Min达到10Pa以下

压升率:<5 Pa/h

空炉抽空时间:至工作真空度≤20min工艺气氛:氮气/氢气/湿氢(三质量流量计)，**流量控制6m3/h炉内压力:压力0.03Mpa(微正压)加热功率:270KVA(峰值)

出料方式:下出料+水平行走

冷却水压力:炉体等冷却系统进水压力0.2~0.3Mpa，回水压差<0.1mpa