氮化铝基板烧结炉

设备特点:

设有强制的冷却系统和独立的进排气结构

温度要求高，可达到2400℃高温，且炉内温度稳定

可根据客户要求，提供炉膛、炉胆尺寸定制，可以更好的配合生产

设备用途:

电子陶瓷金属共烧(氮化铝、氧化铝、氧化铍等)

钨金属纯化、石墨纯化、陶瓷金属化、蓝宝石长晶等;

退火、烧结;氮化铝长晶，

设备规格:

有效区:卧室-石墨热场(Graphite box):410x410x600/410x410x1800

加热器:石墨管/钨网/钨板式

隔热屏材料:超高纯石墨化硬毡/钨钼复会屏

**装炉量:300kg~1000kg

**设计温度:2050℃℃~30009℃

极限真空:5pa

温度均匀性:±5°C

工艺气氛:氨气/氢气/氫气/氟

充气压力:≤0.05mpa