中国粉体网讯 10月25日，星源材质控股的邦瓷科技MFC压电陶瓷促动器200万件扩产项目，在江西景德镇先进陶瓷产业园正式开工建设。该项目瞄准半导体装备核心元器件，是国内MFC（Mass Flow Controller，质量流量控制器）关键零部件国产化的重要项目。
MFC国产渗透率加速
MFC全称Mass FlowController，即质量流量控制器，是一种集成化、小型化、精确化的控制仪器，由流量传感器模块、信号处理和运算模块、控制模块构成，兼具气体流量测量和控制的功能。通常集成于半导体设备中，用于精准控制由气源流入反应腔内的气体流量，被誉为半导体制造中的“呼吸机”。
MFC价值量仅占半导体设备整机成本的2%~3%，却对整条产线稳定运行起到决定性作用，直接决定刻蚀、薄膜沉积等工序的气体流量控制精度，最终影响晶圆良率。MFC现已成为继陶瓷结构件、真空泵、真空阀之后，半导体设备中的紧缺零部件赛道。
MFC按传感原理主要分为热式、层流压差式两大类；按阀门驱动方式可分为压电驱动与电磁驱动两类。压电式MFC相比电磁式而言，其响应更快、精度更高，因此适用于先进制程半导体设备场景。
压电式MFC采用压电陶瓷比例阀作为驱动器，通过压电陶瓷的逆压电效应可在外加电压下实现微米/纳米级形变，推动阀片/膜片开口变化，改变节流面积，从而控制并调整流量。
MFC原理示意图，来源：邦瓷科技
压电陶瓷是MFC的瓶颈
当前行业紧缺程度超出前期市场预判。海外头部厂商交付周期拉长，即便海外 MFC厂商全力提升出货，依旧难以覆盖全球晶圆厂的订单需求。制约MFC产能释放的核心矛盾不在整机装配，而是压电陶瓷部件。压电陶瓷是压电式MFC 的核心控制阀部件，占MFC整机BOM成本约40%，先进制程MFC对压电陶瓷的材料配方、烧结工艺、寿命稳定性有着极高门槛。
压电陶瓷促动器通常采用锆钛酸铅PZT压电陶瓷材料，并进行多层叠堆共烧制备得到。压电陶瓷粉体材料关键指标不仅在于单一d33，更关注化学计量比与杂质、粒径与分布、团聚度、烧结活性、批次介电/压电一致性、失铅控制、居里温度和老化稳定性。
作为MFC的核心控制阀部件，目前MFC细分领域压电陶瓷市场空间约60亿元，2027年缺口将扩大至百万只。全球高端MFC用压电陶瓷长期被日本京瓷、德国PI等厂商垄断。国内厂商中，星源材质通过控股邦瓷科技（持股73%）切入该赛道，是目前国内唯一通过头部MFC厂商中试线测试的压电陶瓷企业。目前公司半导体压电式MFC产品综合性能可与德国PI等公司对标，也是国内唯一通过航天系统验证和半导体MFC厂商验证的企业。
此次邦瓷科技在景德镇昌南新区的半导体压电陶瓷生产线将全面部署自动化智能产线，保障数百万件多层压电叠堆规模化生产能力的同时实现降本增效。全流程自动化管控，将显著提升产品批次一致性与可靠性，缓解行业产能紧缺痛点，为全球半导体装备客户提供稳定、可靠的MFC压电陶瓷核心部件。
来源：邦瓷科技、DLCapital鼎略资本
（中国粉体网编辑整理/空青）
注：图片非商业用途，存在侵权告知删除
