多晶硅生产四氯化硅循环利用技术通过验收

近日，青海省科技厅组织有关专家对青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司承担的青海省“123”科技支撑工程项目“多晶硅生产四氯化硅循环利用产业化技术”进行了验收和成果鉴定。

　　该项目引进国外先进的氢化炉硅粉给料系统及反应器，在泡罩改造改善四氯化硅低温氢化流化床气体分布结构上进行再创新，通过对流化床阻力降、催化剂添加量、氢气与四氯化硅的摩尔比等工艺条件上进行了优化，提高四氯化硅生产三氯氢硅的单程转化率达到26%，大幅度的降低了多晶硅生产过程中四氯化硅的排放，实现了低能耗生产。该技术达到国内领先水平，可以在同行业内进行推广，具有很强的应用创新性。目前，青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司生产三氯氢硅产能达到1250吨，2012年产值达到1.68亿元，经济效益明显。