近日,华海清科自主研发的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX顺利出机,发往先进封装产线投入量产应用。作为国内首台进入量产线的全自动板级CMP装备,此次出机标志着我国板级封装核心工艺装备实现了从研发到应用的关[更多]
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