中国粉体网讯 随着电子设备向小型、多功能、大功率及高可靠性方向的快速发展,微电子器件高密度的三维集成技术应运而生。然而,高密度集成的发展受限于芯片热集中引起的高结温问题,严重导致器件性能和可靠性的下降。集成芯片内部为多层结构[更多]
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