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推荐“逼出极限”！这家光学企业让超精密设备站上30纳米高地！

中国粉体网讯 近日，据无锡日报消息，湖南大学无锡半导体先进制造创新中心的光学非球面超精密复合加工机床，其中心自研气浮主轴可将精度控制在30纳米以内，仅为传统机械轴承的3%（传统机械轴承的回转精度约为1微米），核心指标全面对标[更多]