吴刚祥

推荐AI解困：静电吸盘制备难点？

中国粉体网讯 静电吸盘（ESC）是半导体制造中的关键部件，广泛应用于PVD、PECVD、刻蚀、光刻、离子注入等核心工艺环节，直接决定了晶圆加工的质量与良率。静电吸盘主要由电介质吸附层、电极层、基底层三部分组成，都以层状结构叠[更多]