碳化硼陶瓷聚焦环

推荐湖北隆中实验室：国内首个碳化硼陶瓷聚焦环研制成功

中国粉体网讯 聚焦环是放置在晶圆外部、直接接触晶圆的重要部件，通过将电压施加到环上以聚焦通过环的等离子体，从而将等离子体聚焦在晶圆上以提高加工的均匀性。传统的聚焦环由硅或石英制成，随着集成电路微型化推进，集成电路制造对于刻蚀[更多]