静电吸附

推荐静电卡盘上的小凸点有啥用？

中国粉体网讯 静电卡盘是半导体部件制造中广泛应用的硅片夹持和转移工具，其利用静电吸附原理夹持高纯晶圆。在提高产率、无边缘排除、晶片温度控制以及减少颗粒和缺陷方面具有独特优势，因此广泛用于等离子体和真空的半导体工艺，如蚀刻、化[更多]