中国粉体网讯 近日,国家知识产权局信息显示,东莞信柏结构陶瓷股份有限公司申请一项名为“陶瓷及其制备方法、静电卡盘”的专利,公布号CN120157460A。在先进的大规模集成电路制造过程中有着几百种工艺步骤,圆片需要在多达几百[更多]
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