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首页 > 产品中心 > 光学仪器及设备 > LDI激光直写光刻机
产品详情
LDI激光直写光刻机
参考报价:
面议
品牌:
科毅科技
关注度:
12
样本:
暂无
型号:
LDI激光直写光刻机
产地:
广东
信息完整度:
典型用户:
暂无
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名 称:
科毅科技股份有限公司
认 证:工商信息已核实
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半导体行业专用仪器
半自动/全自动接触式光刻机
晶圆键合机
Stepper光刻机
全自动匀胶/显影设备
晶圆划片机
巨量转移晶圆植球机
晶圆清洗蚀刻机
IoN 100 筒式等离子体反应器
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LDI激光直写光刻机
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台式薄膜厚度测量系统
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RTP快速退火炉
清洗/消毒设备
等离子清洗机
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科毅科技
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产品简介
项目
参数
支持基板尺寸
12inch(兼容8inch)
分辨率
L/S 2/2μm;Hole 4μm
套刻精度
正面±0.6μm、背面优于2μm
光源类型
LD
产能
40WPH
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