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产品分类
产品简介
项目 | 参数 |
曝光光源 | 350W、500W、1KW、2KW汞灯/UV-LED |
晶圆尺寸 | 2”-12” |
均匀性 | ≤ ±3％ 和 ≤±5％ |
对准精度 | ±1μm（选配±0.5μm） |
分辨率 | ±1μm（选配±0.8μm） |
产能 | ≥70wph |
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产品详情
半自动/全自动接触式光刻机
- 参考报价：
- 面议
- 品牌：
- 科毅科技
- 关注度：
- 15
- 样本：
- 暂无
- 型号：
- 半自动/全自动接触式光刻机
- 产地：
- 广东
- 信息完整度：
- 典型用户：
- 暂无
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